Ang ultra-high purity (UHP) nga mga gas mao ang kinabuhi sa industriya sa semiconductor. Ingon nga wala pa nakit-an nga panginahanglan ug pagkabalda sa mga kadena sa suplay sa kalibutan nga nagduso sa presyo sa ultra-high pressure nga gas, ang bag-ong disenyo sa semiconductor ug mga gawi sa paghimo nagdugang ang lebel sa pagkontrol sa polusyon nga gikinahanglan. Alang sa mga tiggama sa semiconductor, ang pagsiguro nga ang kaputli sa UHP gas labi ka hinungdanon kaysa kaniadto.

Ang Ultra High Purity (UHP) Gases Hingpit nga Kritikal sa Modernong Semiconductor Manufacturing

Usa sa mga nag-unang aplikasyon sa UHP gas mao ang inertization: Ang UHP gas gigamit sa paghatag usa ka proteksyon nga atmospera sa palibot sa mga sangkap sa semiconductor, sa ingon mapanalipdan sila gikan sa makadaot nga mga epekto sa kaumog, oxygen ug uban pang mga kontaminado sa atmospera. Bisan pa, ang inertization usa lamang sa daghang lainlaing mga gimbuhaton nga gihimo sa mga gas sa industriya sa semiconductor. Gikan sa panguna nga mga gas sa plasma hangtod sa mga reaktibo nga gas nga gigamit sa pag-etching ug pag-annealing, ang mga ultra-high pressure nga gas gigamit alang sa daghang lainlaing katuyoan ug hinungdanon sa tibuuk nga kadena sa suplay sa semiconductor.

Ang pipila sa mga "kinauyokan" nga mga gas sa industriya sa semiconductor naglakipnitroheno(gigamit isip pangkinatibuk-ang pagpanglimpyo ug inert gas),argon(gigamit isip pangunang plasma gas sa etching ug deposition reactions),helium(gigamit isip inert gas nga adunay espesyal nga heat-transfer properties) ughydrogen(nagdula og daghang mga papel sa pag-annealing, deposition, epitaxy ug paglimpyo sa plasma).

Ingon nga ang teknolohiya sa semiconductor nag-uswag ug nagbag-o, mao usab ang mga gas nga gigamit sa proseso sa paghimo. Karon, ang mga semiconductor manufacturing nga mga tanum naggamit sa usa ka halapad nga mga gas, gikan sa mga halangdon nga gas sama sakryptonugneonsa reaktibo nga mga espisye sama sa nitrogen trifluoride (NF 3) ug tungsten hexafluoride (WF 6).

Nagkadako nga panginahanglan alang sa kaputli

Sukad sa pag-imbento sa unang komersyal nga microchip, ang kalibutan nakasaksi sa usa ka katingad-an nga hapit exponential nga pagtaas sa pasundayag sa mga aparato nga semiconductor. Sulod sa milabay nga lima ka tuig, usa sa pinakasiguro nga mga paagi aron makab-ot kini nga matang sa pag-uswag sa performance mao ang pinaagi sa "size scaling": pagkunhod sa mahinungdanong mga dimensyon sa kasamtangan nga mga arkitektura sa chip aron sa pagpislit sa mas daghang transistor ngadto sa usa ka luna. Dugang pa niini, ang pag-uswag sa bag-ong mga arkitektura sa chip ug ang paggamit sa mga cutting-edge nga materyales nagpatunghag mga paglukso sa performance sa device.

Karon, ang mga kritikal nga dimensyon sa cutting-edge semiconductors karon gamay ra kaayo nga ang gidak-on scaling dili na usa ka praktikal nga paagi aron mapaayo ang performance sa aparato. Hinuon, ang mga tigdukiduki sa semiconductor nangita mga solusyon sa porma sa mga materyal nga nobela ug mga arkitektura sa 3D chip.

Ang mga dekada sa walay kakapoy nga pagdesinyo pag-usab nagpasabut nga ang mga aparato sa semiconductor karon labi ka kusgan kaysa sa mga microchip sa karaan - apan kini labi ka huyang. Ang pag-abut sa 300mm nga wafer fabrication nga teknolohiya nagdugang sa lebel sa pagkontrol sa kahugawan nga gikinahanglan alang sa paghimo sa semiconductor. Bisan ang gamay nga kontaminasyon sa usa ka proseso sa paggama (labi na ang talagsaon o inert nga mga gas) mahimong mosangput sa pagkapakyas sa mga kagamitan sa katalagman - busa ang kaputli sa gas karon labi ka hinungdanon kaysa kaniadto.

Para sa usa ka tipikal nga semiconductor fabrication plant, ang ultra-high-purity nga gas mao na ang kinadak-ang gasto sa materyal human sa silicon mismo. Kini nga mga gasto gilauman lamang nga motaas samtang ang panginahanglan alang sa mga semiconductor mosaka sa bag-ong kataas. Ang mga panghitabo sa Europe hinungdan sa dugang nga pagkabalda sa tense nga ultra-high pressure natural gas market. Ang Ukraine mao ang usa sa pinakadako nga exporter sa high-purity sa kalibutanneonmga timailhan; Ang pagsulong sa Russia nagpasabut nga ang mga suplay sa talagsaon nga gas gipugngan. Kini sa baylo misangpot sa mga kakulang ug mas taas nga presyo sa ubang mga halangdon nga gas sama sakryptonugxenon.