Sa proseso sa paghimo sa semiconductor wafer firstries nga medyo advanced nga proseso sa produksiyon, hapit 50 nga lainlaing klase sa gas ang gikinahanglan. Ang mga gas sa kasagaran gibahin sa daghang mga gas ugEspesyal nga mga gas.

Ang paggamit sa mga gas sa mga industriya sa microelectronics ug semiconductor nga gigamit ang mga gas kanunay nga adunay hinungdan nga papel sa mga proseso sa semiconductor sa lainlaing mga industriya. Gikan sa ULSI, TFT-LCD sa karon nga industriya sa micro-electromechanical (metro), mga proseso sa semiconductor gigamit ingon nga mga proseso sa paggama sa produkto, apil ang pag-okupar, pag-implant sa pag-okupar, uban pa.

Sama pananglit, daghang mga tawo ang nahibal-an nga ang mga chips gihimo sa balas, apan nagtan-aw sa tibuuk nga proseso sa paghimo sa chip, ang mga materyal nga kinahanglanon, ang pintor nga materyal, ug uban pa hinungdanon. Ang back-end packaging usab nanginahanglan mga substrate, interposer, mga bayanan sa tingga, mga materyales sa bonding, ug uban pa sa lainlaing mga materyales. Ang mga espesyal nga gas sa electronic mao ang ikaduha nga labing dako nga materyal sa mga gasto sa paghimo sa semiconductuctor human sa mga silicon wafers, gisundan sa mga maskara ug mga photoresist.

Ang kaputli sa gas adunay usa ka mahukmanon nga impluwensya sa sangputanan sa sangkap ug produkto sa produkto, ug ang kaluwasan sa suplay sa gas adunay kalabutan sa kahimsog sa mga kawani ug luwas sa operasyon sa pabrika. Ngano nga ang kaputli sa gas adunay ingon ka dako nga epekto sa linya sa proseso ug mga kawani? Dili kini usa ka pagpasulabi, apan gitino sa mga makuyaw nga kinaiya sa gas mismo.

Klasipikasyon sa mga sagad nga gas sa industriya sa semiconductor

ORDINARY GAS

Ang ordinaryo nga gas gitawag usab nga daghang gas: kini nagtumong sa gas sa industriya nga adunay usa ka kinahanglanon nga kaputli nga mas ubos kaysa 5n ug usa ka dako nga produksiyon ug tsinum sa pagpamaligya. Kini mahimong bahinon sa mga gas sa pagbulag sa hangin ug synthetic gas sumala sa lainlaing mga pamaagi sa pag-andam. Hydrogen (H2), nitroheno (NITROGEN (N2), Oxygen (O2), ARGON (A2), ug uban pa;

Espesyal nga Gas

Ang espesyal nga gas nagtumong sa gas sa industriya nga gigamit sa piho nga mga natad ug adunay espesyal nga mga kinahanglanon alang sa kaputli, lainlain, ug mga kabtangan. Labi naSih4, PH3, B2H6, A8H3,Hcl, CF4,NH3, POCL3, Sih2cl2, Sihcl3,NH3, BCL3, Sif4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HB, HRB,Sf6... ug uban pa.

Mga matang sa mga gas sa spicial

Mga Tipo sa Espesyal nga mga Gases: corrosive, makahilo, masunog, pagsukol-suporta, pagsuporta, inert, ug uban pa.
Kasagaran nga gigamit nga mga gas sa semiconductor giklasipikar sama sa mga musunud:
(i) corrosive / makahilo:Hcl, BF3, wf6, HBR, Sih2cl2, NH3, PH3, CL2,BCL3...
(ii) Flammable: H2,Ch4,Sih4, Ph3, Ash3, Sih2cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, Co ...
(III) Silutus: O2, CL2, N2O, NF3 ...
(iv) inert: N2,Cf4, C2F6,C4F8,Sf6, CO2,Ne,Kr, Siya ...

In the process of semiconductor chip manufacturing, about 50 different types of special gases (referred to as special gases) are used in oxidation, diffusion, deposition, etching, injection, photolithography and other processes, and the total process steps exceed hundreds. For example, PH3 and AsH3 are used as phosphorus and arsenic sources in the ion implantation process, F-based gases CF4, CHF3, SF6 and halogen gases CI2, BCI3, HBr are commonly used in the etching process, SiH4, NH3, N2O in the deposition film process, F2/Kr/Ne, Kr/Ne in the photolithography process.

Gikan sa mga aspeto sa ibabaw, masabtan naton nga daghang mga gas sa semiconductor ang makadaot sa lawas sa tawo. Sa partikular, ang pipila sa mga gas, sama sa Sih4, wala magpadayag sa kaugalingon. Hangtod nga sila pagtulo, sila molihok nga mapintas sa oxygen sa kahanginan ug magsugod sa pagsunog; ug ang Ash3 labi ka makahilo. Ang bisan unsang gamay nga pagtulo mahimong hinungdan sa kadaut sa kinabuhi sa mga tawo, mao nga ang mga kinahanglanon alang sa kaluwasan sa disenyo sa sistema sa pagkontrol alang sa paggamit sa mga espesyal nga gas labi ka taas.

Ang mga semiconductors nanginahanglan mga gas-kaputli nga gas nga adunay "tulo nga mga degree"

Kaputli sa Gas

Ang sulud sa kahugawan nga kawanangan sa gas kasagaran gipahayag ingon usa ka porsyento sa kaputli sa gas, sama sa 99.9999%. Sa kasagaran, ang kinahanglanon sa kaputli alang sa Electronic Special gas nakaabot sa 5n-6n, ug gipahayag usab sa volume nga sulud sa sulud nga PPM (PPB (bahin sa PPL Ang kapatagan sa elektroniko nga semiconductor adunay labing taas nga kinahanglanon alang sa kaputli ug kalidad nga kalig-on sa mga espesyal nga gas, ug ang kaputli sa mga espesyal nga gas, sa kasagaran labi ka labi sa 6n.

Kamala

Ang sulud sa pagsubay sa tubig sa gas, o basa, sagad gipahayag sa punto sa Dew, sama sa itmospera dew point -70 ℃.

Kalimpyo

Ang gidaghanon sa mga pollusant nga mga partikulo sa gas, mga partikulo nga adunay gidak-on nga gidak-on sa μm, gipahayag sa pila ka mga partikulo / M3. Alang sa gi-compress nga hangin, kasagaran kini gipahayag sa MG / M3 nga dili malikayan nga lig-on nga mga salin, nga naglakip sa sulud sa lana.