Ang labing gigamit nga elektronik nga espesyal nga gas - nitrogen trifluoride

Ang kasagarang mga espesyal nga elektronik nga gas nga adunay fluorine naglakip saasupre heksafluoride (SF6)tungsten hexafluoride (WF6),karbon tetrafluoride (CF4), trifluoromethane (CHF3), nitrogen trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) ug octafluoropropane (C3F8).

Uban sa pag-uswag sa nanoteknolohiya ug sa dakong kalamboan sa industriya sa elektroniko, ang panginahanglan niini mosaka matag adlaw. Ang nitrogen trifluoride, isip usa ka kinahanglanon ug pinakadakong gigamit nga espesyal nga elektronikong gas sa produksiyon ug pagproseso sa mga panel ug semiconductor, adunay lapad nga luna sa merkado.

Isip usa ka klase sa espesyal nga gas nga adunay fluorine,nitroheno trifluoride (NF3)Ang Nitrogen trifluoride kay usa ka espesyal nga elektronikong produkto sa gas nga adunay pinakadakong kapasidad sa merkado. Kini dili aktibo sa kemikal sa temperatura sa kwarto, mas aktibo kay sa oksiheno sa taas nga temperatura, mas lig-on kay sa fluorine, ug dali dumalahon. Ang Nitrogen trifluoride kasagarang gigamit isip plasma etching gas ug reaction chamber cleaning agent, ug angay alang sa mga natad sa paggama sa semiconductor chips, flat panel displays, optical fibers, photovoltaic cells, ug uban pa.

Kon itandi sa ubang mga elektronik nga gas nga adunay fluorine,nitroheno trifluorideadunay mga bentaha sa paspas nga reaksyon ug taas nga kahusayan. Ilabi na sa pag-ukit sa mga materyales nga adunay silicon sama sa silicon nitride, kini adunay taas nga rate sa pag-ukit ug selectivity, nga wala magbilin ug residue sa nawong sa giukit nga butang. Kini usa usab ka maayo kaayo nga ahente sa pagpanglimpyo ug walay polusyon sa nawong, nga makatubag sa mga panginahanglan sa proseso sa pagproseso.