Elektronikespesyal nga mga gasusa ka importanteng sanga sa mga espesyal nga gas. Mosulod kini sa halos tanang sumpay sa produksiyon sa semiconductor ug importante kaayong hilaw nga materyales para sa produksiyon sa mga industriya sa elektroniko sama sa ultra-large-scale integrated circuits, flat panel display devices, ug solar cells.

Sa teknolohiya sa semiconductor, ang mga gas nga adunay fluorine kay kaylap nga gigamit. Sa pagkakaron, sa tibuok kalibutan nga merkado sa electronic gas, ang mga electronic gas nga adunay fluorine nagkantidad og mga 30% sa kinatibuk-an. Ang mga electronic gas nga adunay fluorine usa ka importante nga sangkap sa espesyal nga mga electronic gas sa natad sa mga materyales sa impormasyon sa elektroniko. Kini kasagarang gigamit isip mga ahente sa pagpanglimpyo ug mga ahente sa pag-ukit, ug mahimo usab nga gamiton isip mga dopant, mga materyales sa pagporma og pelikula, ug uban pa. Niini nga artikulo, dad-on ka sa tagsulat aron masabtan ang kasagarang mga gas nga adunay fluorine.

Ang mosunod mao ang kasagarang gigamit nga mga gas nga adunay fluorine

Nitrogen trifluoride (NF3): Usa ka gas nga gigamit sa paglimpyo ug pagtangtang sa mga deposito, kasagaran gigamit sa paglimpyo sa mga reaction chamber ug mga nawong sa kagamitan.

Sulfur hexafluoride (SF6)Usa ka fluorinating agent nga gigamit sa mga proseso sa pagdeposito sa oxide ug isip insulating gas para sa pagpuno sa insulating media.

Hydrogen fluoride (HF): Gigamit sa pagtangtang sa mga oxide gikan sa ibabaw sa silicon ug isip etchant para sa pag-ukit sa silicon ug uban pang mga materyales.

Nitrogen fluoride (NF): Gigamit sa pag-ukit sa mga materyales sama sa silicon nitride (SiN) ug aluminum nitride (AlN).

Trifluoromethane (CHF3) ugtetrafluoromethane (CF4): Gigamit sa pag-ukit sa mga materyales nga adunay fluoride sama sa silicon fluoride ug aluminum fluoride.

Apan, ang mga gas nga adunay fluorine adunay pipila ka mga peligro, lakip ang pagkahilo, pagkagusbat, ug pagkadaling masunog.

Pagkahilo

Ang ubang mga gas nga adunay fluorine makahilo, sama sa hydrogen fluoride (HF), kansang alisngaw makalagot kaayo sa panit ug respiratory tract ug makadaot sa panglawas sa tawo.

Pagkadunot

Ang hydrogen fluoride ug pipila ka fluoride makadaot kaayo ug mahimong hinungdan sa grabe nga kadaot sa panit, mata, ug respiratory tract.

Pagkasunog

Ang ubang mga fluoride daling masunog ug mo-react sa oksiheno o tubig sa hangin aron mopagawas ug grabeng kainit ug makahilong mga gas, nga mahimong hinungdan sa sunog o pagbuto.

Peligro sa taas nga presyur

Ang ubang mga fluorinated gas mobuto ubos sa taas nga presyur ug nanginahanglan og espesyal nga pag-amping kon gamiton ug tipigan.

Epekto sa palibot

Ang mga gas nga adunay fluorine adunay taas nga atmospheric lifespan ug GWP values, nga adunay makadaot nga epekto sa atmospheric ozone layer ug mahimong hinungdan sa global warming ug polusyon sa kalikopan.

Ang paggamit sa mga gas sa mga bag-ong natad sama sa elektroniko nagpadayon sa pag-uswag, nga nagdala ug daghang bag-ong panginahanglan alang sa mga gas sa industriya. Base sa daghang bag-ong kapasidad sa produksiyon sa mga dagkong elektronikong sangkap sama sa semiconductors ug display panels sa mainland China sa sunod nga pipila ka tuig, ingon man ang kusog nga panginahanglan alang sa import nga pag-ilis sa mga elektronikong kemikal nga materyales, ang industriya sa elektronikong gas sa nasud magdala ug taas nga rate sa pagtubo.