Electronicespesyal nga mga gasusa ka importante nga sanga sa mga espesyal nga gas. Gituhop nila ang halos matag link sa produksiyon sa semiconductor ug hinungdanon nga hilaw nga materyales alang sa paghimo sa mga elektronik nga industriya sama sa ultra-dako nga integrated circuit, flat panel display device, ug solar cells.

Sa teknolohiya sa semiconductor, ang mga gas nga adunay fluorine kaylap nga gigamit. Karon, sa global nga merkado sa elektronik nga gas, ang mga elektronik nga gas nga adunay fluorine nagkantidad mga 30% sa kinatibuk-an. Ang mga elektronik nga gas nga adunay fluorine usa ka hinungdanon nga sangkap sa espesyal nga mga gas sa elektroniko sa natad sa mga materyales sa elektronik nga impormasyon. Kini kasagarang gigamit isip mga ahente sa pagpanglimpyo ug mga ahente sa pag-etching, ug mahimo usab nga gamiton isip mga dopant, mga materyales sa pagporma sa pelikula, ug uban pa. Niini nga artikulo, dad-on ka sa tagsulat aron masabtan ang komon nga mga gas nga adunay fluorine.

Ang mosunod mao ang kasagarang gigamit nga mga gas nga adunay fluorine

Nitrogen trifluoride (NF3): Usa ka gas nga gigamit sa paglimpyo ug pagtangtang sa mga deposito, kasagarang gigamit sa paglimpyo sa mga reaction chamber ug mga surface sa kagamitan.

Sulfur hexafluoride (SF6): Usa ka ahente sa fluorinating nga gigamit sa mga proseso sa pagdeposito sa oxide ug isip usa ka insulating gas alang sa pagpuno sa insulating media.

Hydrogen fluoride (HF): Gigamit sa pagtangtang sa mga oxide gikan sa ibabaw sa silicon ug isip usa ka etchant sa pag-etching sa silicon ug uban pang mga materyales.

Nitrogen fluoride (NF): Gigamit sa pag-etch sa mga materyales sama sa silicon nitride (SiN) ug aluminum nitride (AlN).

Trifluoromethane (CHF3) ugtetrafluoromethane (CF4): Gigamit sa pag-etch sa mga materyales nga fluoride sama sa silicon fluoride ug aluminum fluoride.

Bisan pa, ang mga gas nga adunay fluorine adunay piho nga mga kapeligrohan, lakip ang pagkahilo, pagkadunot, ug pagkasunog.

Pagkahilo

Ang ubang mga gas nga adunay fluorine kay makahilo, sama sa hydrogen fluoride (HF), kansang alisngaw makapalagot pag-ayo sa panit ug respiratory tract ug makadaot sa panglawas sa tawo.

Pagka-corrosive

Ang hydrogen fluoride ug pipila ka mga fluoride kay makadaot kaayo ug makapahinabog grabeng kadaot sa panit, mata ug respiratory tract.

Pagkasunog

Ang ubang mga fluoride dali nga masunog ug mo-react sa oxygen o tubig sa hangin aron makapagawas sa grabe nga kainit ug makahilong mga gas, nga mahimong hinungdan sa sunog o pagbuto.

Taas nga presyur nga peligro

Ang ubang mga fluorinated gas kay eksplosibo ubos sa taas nga presyur ug nagkinahanglan ug espesyal nga pag-atiman kon gamiton ug tipigan.

Epekto sa kinaiyahan

Ang mga gas nga adunay fluorine adunay taas nga kinabuhi sa atmospera ug mga kantidad sa GWP, nga adunay makadaot nga epekto sa layer sa ozone sa atmospera ug mahimong hinungdan sa pag-init sa kalibutan ug polusyon sa kinaiyahan.

Ang paggamit sa mga gas sa mga nag-uswag nga mga natad sama sa electronics nagpadayon sa paglalom, nga nagdala sa daghang bag-ong panginahanglan alang sa mga gas sa industriya. Pinasukad sa kadaghan sa bag-ong kapasidad sa produksiyon sa mga dagkong sangkap sa elektroniko sama sa mga semiconductor ug mga panel sa display sa mainland China sa sunod nga mga tuig, ingon man ang kusog nga panginahanglan alang sa pagpuli sa pag-import sa mga elektronik nga kemikal nga materyales, ang industriya sa domestic electronic gas magsugod sa taas nga rate sa pagtubo.